为了保证净化工程的洁净度,确保产品质量,需尊从以下规程:
1.净化工程应保持清洁,房间内不得有明显颗粒物存在,每天都必须进行清洁打扫,清洁时应由身着净化工程洁净工作服的人员先擦洗地面、墙面、天花和设备,然后用不产尘的干净抹布擦拭洁净室。
2.净化工程于该区域生产操作人员和经批准的人员进入,非经允许严禁人员随便出入,并且人员进出时要注意随时关门。
3.人员必须经风淋室吹淋至少15秒后方能进入洁净室,在更衣间,应脱掉外套换洁净服和洁净帽和洁净鞋以及口罩,洁净工作服应选用质地光滑、防静电、不脱落纤维和颗粒性物质的材料。
4.穿洁净服时应注意的事项有:衣扣应扣紧,不得把内衣翻露在外,且净化工程洁净工作服要经常清洗。
5.洁净室内工作人员应尽量减少走动,减少气流干扰,不得化浓妆和佩带外饰物,操作人员好戴洁净手套进行操作。在工作活动中,要禁量考虑减少发尘量。
6.所有物品必须进行擦拭(洗)干净方可进入洁净室,物品应经传递窗或风淋室缓冲后再进入洁净室。
无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一,无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
无尘室在安装管道和线路的时候,如果需要焊接作业,应该准备好消防灭火设备和石棉板等,发生危险情况,可以及时处理。在安装管道和线路要严格安装规范进行施工,安装后还需要测试安装质量,一般是使用水压进行试验,如果不允许使用水压进行测试,可以采用气压进行测量,也应该做好安全防护工作。如果和原有管道进行连接,先要了解管道的特性,安装工作应该由专业的施工人员进行操作,并配备消防灭火器材。如果管道输送的是高纯度的气体和液体,严格按照规范进行施工外,还需要对管道进行清洗、吹扫后对纯度进行测试。