光学微电子净化工程目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。是将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
无尘净化车间的空调机组的选择:1.空调机组要根据末端需要的冷量总数得出空调机组的冷量。2.末端空调箱的选择就要根据洁净等级风量还有房间内消防热负荷风量来确定送风量。 空调机组选型步骤:A.估算或计算冷负荷估算总冷负荷,或通过有关的负荷计算法进行计算。B.估算或计算热负荷估算总热负荷,或通过有关的负荷计算法进行计算。C.初定机组型号根据总冷负荷,初次选定机组型号及台数D、确定机组型号根据总热负荷,校核初定的机组型号及台数。并确定机组型号。
无尘车间洁净室气流流型的设计应符合下列规定:1、无尘车间洁净室的气流流型和送风量应符合下表所示的要求,空气洁净度等级要求严于4级时,应采用单向流,空气洁净度等级为4级-5级时,应采用单向流,空气洁净度等级为6级-9级时,应采用非单向流。2、无尘车间洁净室工作区的气流分布应均匀3、无尘车间洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求。